Loong TCB热压键合机

产品优势

   适用于12英寸及以下晶圆；

   贴装精度：±1μm@3σ；

   角度精度：±0.01°@3σ(33mm>die>=10mm),

                   ±0.05°@3σ(10mm>die>2mm)；

   专门处理多层叠Die，异质整合 2D、2.5D 及 3D；

   实时主动倾斜控制系统(Active Tip Tilt)，可以精确调节脉冲加热器的共面度；

   精准力控，可提供最大300N的贴片压力，0.05N压力控制精度；

   惰性环境, 实现独有的 LPC工艺制程。